2013 ULVAC, ENTRON-W300, Sputter
gebruikte
- Fabrikant: Ulvac
Serienr.: N/A | Hoeveelheid: 1 | Uitrustingsdetail: Sputter | Apparatuur: Sputter | Beschrijving: Wafer 300mm
Suwon, Zuid-KoreaULVAC, VPS-020, Ionenverrijkingssysteem
gebruikte
- Fabrikant: Ulvac
Serienr.: 78570 | Hoeveelheid: 1 | Uitrustingsdetail: Ionenverwerkingssysteem | Apparatuur: Ionenverwerkingssysteem | Beschrijving: 50/60Hz, 20-24L/min
Suwon, Zuid-KoreaULVAC, Enviro2, Magnetron Asher
gebruikte
- Fabrikant: Ulvac
- Model: Enviro
Serienr.: N/A | Hoeveelheid: 1 | Uitrustingsdetail: Magnetron Asher | Apparatuur: Magnetron Asher | Beschrijving: Wafer 100~300mm
Suwon, Zuid-Korea