Gebruikte halfgeleider

Xavis XSCAN-A-serie

Focusgrootte: 5μm focus gesloten type buis | Buizenversterker: 100 kV (10 W, 20 W), 130 kV (39 W), 150 kV (75 W) | Inspectiegebied: 500 x 500mm | Basis 4-assig: X, Y, Z, T (optie 'R'-rotatieas) | Röntgenbuis: 100...