Gebruikte system in Zuid-Korea

2013 Oxford, Plasmalab100-ICP380, ICP Etcher

• Fabrikant: Oxford

Serienr.: 94-515033 | Hoeveelheid: 1 | Uitrustingsdetail: ICP Etcher | Apparatuur: ICP Etcher | Beschrijving: N/A

2013 Oxford, Plasmalab ICP380-PLASMALAB100, ICP Etcher + PECVD

• Fabrikant: Oxford

Serienr.: 94-515033 | Hoeveelheid: 1 | Uitrustingsdetail: ICP Etcher + PECVD | Apparatuur: ICP Etcher + PECVD | Beschrijving: N/A

Plasmalab ICP380 & Plasmalab100 ICP Etcher 100 RIE+PECVD

• Fabrikant: OXFORD