2013 Oxford, Plasmalab Systeem100, PECVD & ICP380
gebruikte
- Fabrikant: Oxford
Serienr.: N/A | Hoeveelheid: 1 | Uitrustingsdetail: PECVD & ICP380 | Apparatuur: ICP PECVD | Beschrijving: 415V, 50Hz
Suwon, Zuid-Korea2009 EVG, EVG810LT, Plasmaactiveringssysteem met lage temperatuur
gebruikte
- Fabrikant: EVG
Serienr.: S090007 | Hoeveelheid: 1 | Uitrustingsdetail: Plasmaactiveringssysteem met lage temperatuur | Apparatuur: Plasmaactiveringssysteem met lage temperatuur | Beschrijving: Wafer 50-200, 100-300mm
Suwon, Zuid-Korea2003 KLA, AFS-3220, vlakheidsmeting
gebruikte
- Fabrikant: KLA-Tencor
Serienr.: N/A | Hoeveelheid: 1 | Uitrustingsdetail: Vlakheid meten | Apparatuur: Vlakheid meten | Beschrijving: Wafer 300 mm, scandikte: nauwkeurigheid 0,25um
Suwon, Zuid-Korea2005 KLA, AFS-3220, vlakheidsmeting
gebruikte
- Fabrikant: KLA-Tencor
Serienr.: AMS101 | Hoeveelheid: 1 | Uitrustingsdetail: Vlakheid meten | Apparatuur: Vlakheid meten | Beschrijving: Wafer 300 mm, scandikte: nauwkeurigheid 0,25um
Suwon, Zuid-Korea2003 KLA, SP3, DEELTJESTELLER
gebruikte
- Fabrikant: KLA-Tencor
- Model: SP3
Serienr.: 45120310476 | Hoeveelheid: 1 | Uitrustingsdetail: DEELTJESTELLER | Apparatuur: DEELTJESTELLER | Beschrijving: Wafer 450 mm
Suwon, Zuid-Korea2013 LG PRI, TWI-450-3S, Wafer-overdracht
gebruikte
- Fabrikant: LG PRI
Hoeveelheid: 1 | Uitrustingsdetail: Wafer overdracht | Apparatuur: Wafer overdracht | Beschrijving: Wafer 450 mm
Suwon, Zuid-KoreaH-vierkant, AVTkit8-007, de Overdracht van het Wafeltje van EPI
gebruikte
- Fabrikant: H-Square
Serienr.: 519 | Hoeveelheid: 1 | Uitrustingsdetail: EPI Wafer-overdracht | Apparatuur: EPI Wafer-overdracht
Suwon, Zuid-Korea2014 Veeco, Dektak6M, Alpha Step
gebruikte
- Fabrikant: Veeco - Sloan
- Model: Dektak
Serienr.: 24278 | Hoeveelheid: 1 | Uitrustingsdetail: Alpha stap | Apparatuur: Alpha stap | Beschrijving: N/A
Suwon, Zuid-KoreaKLA TENCOR, P-15, oppervlakteprofielzoeker (Windows NT)
gebruikte
- Fabrikant: KLA-Tencor
- Model: P-15
Serienr.: 0704120887 | Hoeveelheid: 1 | Uitrustingsdetail: Oppervlakteprofielen (Windows NT) | Apparatuur: Oppervlakte Profiler | Beschrijving: Windows NT
Suwon, Zuid-Korea2006 ADE, Ultrascan9300, wafersorteermachine
gebruikte
- Fabrikant: ADE
Serienr.: N/A | Hoeveelheid: 1 | Uitrustingsdetail: Wafer Sorter | Beschrijving: Wafer 200 mm
Suwon, Zuid-Korea2014 Wafer overdracht, Wafer 300mm
gebruikte
Serienr.: N/A | Hoeveelheid: 1 | Uitrustingsdetail: Wafer overdracht | Apparatuur: Wafer overdracht | Beschrijving: Wafer 300mm
Suwon, Zuid-Korea1999 KLA, AFS-3220, vlakheidsmeting
gebruikte
- Fabrikant: KLA-Tencor
Serienr.: AMS069 | Hoeveelheid: 1 | Uitrustingsdetail: Vlakheid meten | Apparatuur: Vlakheid meten | Beschrijving: Wafer 300 mm, scandikte: nauwkeurigheid 0,25um
Suwon, Zuid-Korea2013 KLA, PHXDF5.0, Wafersight3
gebruikte
- Fabrikant: KLA-Tencor
Serienr.: 48130711333 | Hoeveelheid: 1 | Uitrustingsdetail: Wafersight3 | Apparatuur: Wafersight3 | Beschrijving: Wafer 450 mm
Suwon, Zuid-KoreaVEECO, DEKTAK6M, oppervlakteprofielzoeker
gebruikte
- Fabrikant: Veeco - Sloan
- Model: Dektak
Serienr.: 34542 | Hoeveelheid: 1 | Uitrustingsdetail: Oppervlakte Profiler | Apparatuur: Oppervlakte Profiler | Beschrijving: Scanlengte 50㎛~30mm, wafeldiameter 150mm
Suwon, Zuid-KoreaKLA TENCOR, P-15, lange scanprofielzoeker
gebruikte
- Fabrikant: KLA-Tencor
- Model: P-15
Serienr.: 905001693 | Hoeveelheid: 1 | Uitrustingsdetail: Long Scan Profiler | Apparatuur: Long Scan Profiler | Beschrijving: N/A
Suwon, Zuid-Korea