Halfgeleiders » Metrologie / Inspectie (halfgeleiders) » Defectinspectie

Zoeken Op Fabrikant

Zoeken Op Land

Building Filters

24

Gebruikte Defectinspectie

  • 2009 HITACHI RS4000T

    2009 HITACHI RS4000T

    • Fabrikant: Hitachi
    • Model: RS-4000

    Wafelgrootte: 12" | Verzending: EXW

    Seoul, Zuid-Korea
  • Hitachi, S-3000H, SEM (Scanning Electron

    Hitachi, S-3000H, SEM (Scanning Electron Microscope)

    • Fabrikant: Hitachi
    • Model: S-3000H

    Serienr.: N/A | Hoeveelheid: 1 | Uitrustingsdetail: SEM (Scanning elektronenmicroscoop) | Apparatuur: SEM (scanning elektronenmicroscoop)

    Suwon, Zuid-Korea
  • HITACHI S 5000

    HITACHI S 5000

    • Fabrikant: Hitachi
    • Model: S-5000

    Gyeonggi, Zuid-Korea
  • HITACHI S 5000

    HITACHI S 5000

    • Fabrikant: Hitachi
    • Model: S-5000

    Gyeonggi, Zuid-Korea
  • HITACHI S 5000

    HITACHI S 5000

    • Fabrikant: Hitachi
    • Model: S-5000

    Gyeonggi, Zuid-Korea
  • HITACHI S 5000

    HITACHI S 5000

    • Fabrikant: Hitachi
    • Model: S-5000

    Gyeonggi, Zuid-Korea
  • HITACHI S 5000

    HITACHI S 5000

    • Fabrikant: Hitachi
    • Model: S-5000

    Gyeonggi, Zuid-Korea
  • HITACHI FB 2100

    HITACHI FB 2100

    • Fabrikant: Hitachi
    • Model: FB-2100

    Gyeonggi, Zuid-Korea
  • 2010 HITACHI LS9000

    2010 HITACHI LS9000

    • Fabrikant: Hitachi
    • Model: LS9000

    Verzending: EXW

    Zuid-Korea
  • 2003 HITACHI RS4000

    2003 HITACHI RS4000

    • Fabrikant: Hitachi
    • Model: RS-4000

    Wafelgrootte: 12" | Proces: DEFECTE BEOORDELING SEM | Verzending: EXW

    Zuid-Korea
  • 2013 HITACHI RS6000

    2013 HITACHI RS6000

    • Fabrikant: Hitachi
    • Model: RS-6000

    Verzending: EXW

    Zuid-Korea
  • 2010 HITACHI IS3200SE

    2010 HITACHI IS3200SE

    • Fabrikant: Hitachi
    • Model: IS-3200SE

    Wafelgrootte: 12" | Verzending: EXW

    Zuid-Korea
  • 2001 HITACHI S4700-I

    2001 HITACHI S4700-I

    • Fabrikant: Hitachi
    • Model: S-4700

    Wafelgrootte: 12" | Proces: Scanning elektronenmicroscoop | Verzending: EXW

    Zuid-Korea
12

Overzicht

Defectinspectie in halfgeleidermetrologie betreft systemen en processen die defecten op wafers, maskers en verpakte devices detecteren, classificeren en kwantificeren. Optische, elektronenbundel- of verstrooiingsgebaseerde tools meten defectgrootte, -dichtheid en -locatie om opbrengst en root-cause analyse te verbeteren. Apparatuur moet voldoen aan cleanroom-, trilling- en ESD-eisen en vaak geavanceerde imaging-, classificatie- en data-analyse software integreren voor productiemonitoring.

FAQ

Waarop moet ik letten bij de aankoop van een gebruikte defectinspectiesysteem?

Controleer de staat van detectoren en optiek, resolutie- en gevoeligheidsspecificaties, compatibele waferformaten, software-/firmwareversies, onderhouds- en kalibratiegeschiedenis en beschikbaarheid van onderdelen en servicecontracten.

Hoe moet een defectinspectieapparaat worden verzonden om het te beschermen?

Gebruik klimaatgereguleerd, trillinggedempt transport met maatwerk kisten, ESD-bescherming en schokrecorders. Coördineer demontage en herassemblage met de leverancier of gecertificeerde service en verzeker de zending.

Welke onderhouds- en kalibratieroutines zijn nodig?

Voer dagelijkse controles uit van optiek en reinheid, monitor vacuümpompen indien van toepassing en maak regelmatig softwareback-ups. Plan jaarlijkse OEM- of laboratoriumkalibratie en vervang verbruiksartikelen volgens fabrikant.