2005 EVG, EVG620, handmatige uitlijner
- Fabrikant: EVG
- Model: EVG620
Serienr.: N/A | Hoeveelheid: 1 | Uitrustingsdetail: Handmatig uitlijnen | Apparatuur: Handmatig uitlijnen | Beschrijving: Tot 6"/150mm wafer
Suwon, Zuid-Korea2005 EVG, EVG101, Spuitmachine
- Fabrikant: EVG
Serienr.: S040121 | Hoeveelheid: 1 | Uitrustingsdetail: Spuitbus | Apparatuur: Spuitbus | Beschrijving: Wafer 200 mm
Suwon, Zuid-Korea2009 EVG, EVG810LT, Plasmaactiveringssysteem met lage temperatuur
- Fabrikant: EVG
Serienr.: S090007 | Hoeveelheid: 1 | Uitrustingsdetail: Plasmaactiveringssysteem met lage temperatuur | Apparatuur: Plasmaactiveringssysteem met lage temperatuur | Beschrijving: Wafer 50-200, 100-300mm
Suwon, Zuid-Korea