Gebruikte 1996 AMAT CENTURA 5200 in Gyeonggi, Zuid-Korea
Gebruikte
Doubleclick to zoom in
Contact the seller for
additional photos and information.
Specificaties
Omschrijving
ETCH Kamer
kamertype MxP
Waferklem Polyimide ESC
BS He koeling ja
He uitstroomleiding ja
turbopomp SEIKO STP-301CB1
eindpunt type stand alone (Eindpunt systeem niet beschikbaar)
monochrometer aantal per kamer (MISSING FIBER CABLE)
generator model ADTEC AX-1000Ⅱ
max. vermogen 1200w
deksel temp. regeling PID regeling
Poortklep Verwarmde poortklep
Bijpasser SMA-1000
Procesmanometer MKS 1Torr