Building Filters
1995 DNS SK 80BW AVPE
- Fabrikant: Dainippon Screen
- Model: SK-80BW-AVPE
Wafelgrootte: 8" | Verzending: EXW
Zuid-Korea
Zuid-Korea
Tip: Voer fabrikant, model of sleutelwoord in
Wafelgrootte: 8" | Verzending: EXW
Coat/develop‑tracks zijn geautomatiseerde natte proceslijnen in fotolithografie die fotoresist aanbrengen, bakken en ontwikkelen. Ze combineren spincoatunits, bakplaten, ontwikkelmodules, chemie‑handling en cassette‑automatisering in één lineaire baan voor consistente laagdikte en hoge throughput. Gebruikte systemen verschillen in cassettelengte, automatiseringsniveau en chemische compatibiliteit — controleer wafermaat, resisttypes, cleanroomklasse en fab‑interfaces vóór aankoop.
Controleer cassettecapaciteit, ondersteunde waferformaten, chemiegeschiedenis, onderhoudslogboeken, staat van pompen en spinunits, en beschikbaarheid van spare parts en handleidingen.
Laat gecertificeerde decontaminatie uitvoeren, spoel en purgeer chemielijnen, zet onderdelen vast voor transport en zorg voor documentatie over reinheid.
Meestal zijn DI‑water, solvent‑afvoer, stikstof/droge lucht, juiste stroomvoorziening, afzuiging/ventilatie en soms gekoeld water of vacuümleidingen nodig.
Filter‑ en pompvervanging, inspectie van seals en leidingen, controle van spinnerlager, kalibratie van bakplaten en reiniging van chemielijnen volgens throughput.
OEM onderdelen kunnen lang op zich laten wachten; verifieer beschikbaarheid van seals, pomponderdelen, spin chucks en controllers vóór aankoop.