Robotechnik, OPTIcoat ST22+, Spin Coater
gebruikte
- Fabrikant: Robotechnik
Serienr.: 2004/3124 | Hoeveelheid: 1 | Uitrustingsdetail: Spin Coater
Suwon, Zuid-Korea2015 PSK, ECOLITE II T, Asher Descum (dubbele kamer)
gebruikte
- Fabrikant: PSK
Serienr.: PEK25701 | Hoeveelheid: 1 | Uitrustingsdetail: Asher Descum (Tweekamer) | Apparatuur: Asher/Descum | Beschrijving: Dubbele kamer
Suwon, Zuid-Korea2021 KLA, AFS-3220, Vlakheidsmeting
gebruikte
- Fabrikant: KLA-Tencor
Serienr.: AMS101 | Hoeveelheid: 1 | Uitrustingsdetail: Vlakheid meten | Apparatuur: Vlakheid meten | Beschrijving: Wafer 300 mm, scandikte: nauwkeurigheid 0,25um
Suwon, Zuid-Korea1999 KLA, AFS-3220, vlakheidsmeting
gebruikte
- Fabrikant: KLA-Tencor
Serienr.: N/A | Hoeveelheid: 1 | Uitrustingsdetail: Vlakheid meten | Apparatuur: Vlakheid meten | Beschrijving: Wafer 300 mm, scandikte: nauwkeurigheid 0,25um
Suwon, Zuid-Korea2004 ADE, Ultrascan9300, wafersorteermachine
gebruikte
- Fabrikant: ADE
Serienr.: N/A | Hoeveelheid: 1 | Uitrustingsdetail: Wafer Sorter | Apparatuur: Wafer Sorter | Beschrijving: Wafer200mm
Suwon, Zuid-KoreaLam Research, Rainbow4420, Plasma-reiniger
gebruikte
- Fabrikant: Lam Research - Novellus
- Model: RAINBOW 4420
Serienr.: 1012001 | Hoeveelheid: 1 | Uitrustingsdetail: Plasma-reiniger | Apparatuur: Plasma-reiniger | Beschrijving: N/A
Suwon, Zuid-KoreaKLA TENCOR, P-10, oppervlakteprofielmeter (Windows DOS)
gebruikte
- Fabrikant: KLA-Tencor
- Model: P-10
Serienr.: 03970318 | Hoeveelheid: 1 | Uitrustingsdetail: Oppervlakteprofielmeter (Windows DOS) | Apparatuur: Oppervlakteprofielmeter | Beschrijving: Windows DOS
Suwon, Zuid-Korea2006 ADE, Ultrascan9300, wafersorteermachine
gebruikte
- Fabrikant: ADE
Serienr.: N/A | Hoeveelheid: 1 | Uitrustingsdetail: Wafer Sorter | Beschrijving: Wafer 200 mm
Suwon, Zuid-Korea2014 Wafer overdracht, Wafer 300mm
gebruikte
Serienr.: N/A | Hoeveelheid: 1 | Uitrustingsdetail: Wafer overdracht | Apparatuur: Wafer overdracht | Beschrijving: Wafer 300mm
Suwon, Zuid-Korea1999 KLA, AFS-3220, vlakheidsmeting
gebruikte
- Fabrikant: KLA-Tencor
Serienr.: AMS069 | Hoeveelheid: 1 | Uitrustingsdetail: Vlakheid meten | Apparatuur: Vlakheid meten | Beschrijving: Wafer 300 mm, scandikte: nauwkeurigheid 0,25um
Suwon, Zuid-Korea2013 KLA, PHXDF5.0, Wafersight3
gebruikte
- Fabrikant: KLA-Tencor
Serienr.: 48130711333 | Hoeveelheid: 1 | Uitrustingsdetail: Wafersight3 | Apparatuur: Wafersight3 | Beschrijving: Wafer 450 mm
Suwon, Zuid-KoreaVEECO, DEKTAK6M, oppervlakteprofielzoeker
gebruikte
- Fabrikant: Veeco - Sloan
- Model: Dektak
Serienr.: 34542 | Hoeveelheid: 1 | Uitrustingsdetail: Oppervlakte Profiler | Apparatuur: Oppervlakte Profiler | Beschrijving: Scanlengte 50㎛~30mm, wafeldiameter 150mm
Suwon, Zuid-KoreaKLA TENCOR, P-15, lange scanprofielzoeker
gebruikte
- Fabrikant: KLA-Tencor
- Model: P-15
Serienr.: 905001693 | Hoeveelheid: 1 | Uitrustingsdetail: Long Scan Profiler | Apparatuur: Long Scan Profiler | Beschrijving: N/A
Suwon, Zuid-KoreaKLA TENCOR, P-15, oppervlakteprofiler (Windows XP Professional)
gebruikte
- Fabrikant: KLA-Tencor
- Model: P-15
Serienr.: 0803105587 | Hoeveelheid: 1 | Uitrustingsdetail: Oppervlakteprofielen (Windows XP Professional) | Apparatuur: Oppervlakte Profiler | Beschrijving: Windows XP Professional
Suwon, Zuid-Korea2010 KLA TENCOR, Alpha Step IQ, ASIQ3
gebruikte
- Fabrikant: KLA-Tencor
Serienr.: 7083372 | Hoeveelheid: 1 | Uitrustingsdetail: Alpha Stap IQ | Apparatuur: Alpha Stap IQ | Beschrijving: Windows 7 pro
Suwon, Zuid-Korea